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      文章来源:今日徐州    发布时间:2018年94月31日 45:00   【字号:       】

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      “目前,用于基础研究和光电应用的双层及多层TMDs多来自于机械剥离法以及后处理方法,如:激光刻蚀、等离子体刻蚀和热退火等,普遍存在产率低、层数和尺寸可控性差等问题。虽有少数工作采用化学气相沉积(CVD)法制备出双层及多层TMDs,但仍存在晶体质量差、尺寸和层数不可控等问题。”顾晓峰说。

      本次包机货物为荷兰ASML的精密仪器,ASML公司为全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键 设备。此次运输的精密仪器将用于2019年投入生产的长江存储技术(YMTC)大型晶圆厂,为2025年国产集成电路在国内市场比重扩大到70%提供技术 服务。

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